表面微粒檢測儀的日常清潔與檢查
更新時間：2025-08-21 點擊次數(shù)：831次
表面微粒檢測儀是用于檢測固體或液體表面微粒污染的專業(yè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、制藥、醫(yī)療器械及材料科學(xué)領(lǐng)域。其核心技術(shù)包括光學(xué)成像、激光散射和AI算法分析，可實現(xiàn)微米至納米級微粒的精準(zhǔn)識別與分類。
技術(shù)與原理：
光學(xué)檢測技術(shù)：
激光散射成像：采用405nm激光光源，結(jié)合共聚焦顯微技術(shù)消除反射干擾。
光障礙法：通過微粒遮擋光束產(chǎn)生的信號變化計算粒徑（2-100μm），適用于透明液體（如注射液）。
圖像分析法：
高分辨率CMOS/CCD傳感器搭配顯微鏡頭，通過U-Net等AI模型自動分割微粒，分析形狀、粒徑及分布。
支持明場/暗場照明，增強透明微粒的檢測對比度。
多模態(tài)融合：
結(jié)合電子束檢測（EBI）與激光散射成像（LSI），提升復(fù)雜表面（如TSV結(jié)構(gòu)）的檢測能力。
日常清潔與檢查：
光學(xué)系統(tǒng)維護：
每日使用前用無水乙醇擦拭傳感器窗口及光路組件，避免灰塵或樣品殘留影響檢測精度。
檢查激光光源強度，若發(fā)現(xiàn)衰減需校準(zhǔn)或更換（建議每季度檢測光路穩(wěn)定性）。
流體系統(tǒng)清潔：
每次檢測后需用純化水沖洗管路5次以上，黏稠樣品需增加熱水或有機溶劑清洗頻率。
每周更換0.45μm預(yù)過濾器，防止顆粒堵塞。
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